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技术配置：
腔体结构: 立式上开门，后置真空获得系统，腔体均采用优质304不锈钢,
离子弧源: 依据设备大小不同配备多套多弧电源
多弧靶材: 标配多套钛靶或不锈钢靶材
真空系统: 扩散泵（可选分子泵）+罗茨泵+机械泵+维持泵+深冷系统（可选）
气体控制: 多路sevenstar质量流量控制仪
偏压电源: 单级脉冲偏压电源
加热系统: 装饰镀膜350度可调可控制， 超硬质工具镀膜600度可调可控（PID控温）
极限真空: 3×10－4pa（空载、净室）
抽气时间: 空载大气抽至5×10－2pa小于4.5分钟
控制方式: 手动＋半自动＋逻辑自动一体化/触摸屏＋PLC
